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產品

枚葉轉盤式濺鍍機Apollogon

電洽

Introduction
Industry : Sputtering for photoelectric industry
Features : High deposition rate and High
                 uniformity
Application : ITO/CIGS/Ag coatingreactive
                      sputtering




適用產業光電產業鍍膜
機器特色
高鍍率、高均勻度高靶材利用率
適用場合
ITO/CIGS鍍膜貴重金屬鍍膜應用反應式鍍膜應用


Specification
Chambers : 2V//4V
Substrate size : 480L*330W*5H (mm)
Cycle time : 12~30sec
Application : ITO/CIGS/Ag/SiO2/TiO2
Up time : 94%
Vertical / Horizontal type
Target utilization : 60%
Uniformity : ± 5%